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                高溫晶體生長爐:高溫晶體生長爐哪個牌子好?

                文章出處:洛陽西格馬高溫電爐 人氣:196 發表時間:2019-08-09

                什么是單晶生長爐?

                單晶生長爐是通過拉法生產單晶硅的制造設備。主要由主機、加熱電源和計算機控制系統三大部分組成。

                高溫晶體生長爐干什么用的?

                高溫晶體生長爐主要用于LED行業的藍寶石晶體制備。

                高溫晶體生長爐哪個牌子好?

                西格馬高溫晶體生長爐為高溫氧化物晶體生長設備。高溫晶體生長爐爐體鐘罩式升降,放置坩堝和維護熱場。底部坩堝升降,籽晶在坩堝底部,坩堝桿帶水冷。采用分子泵或油擴散泵,控制系統帶有PLC和摸觸屏。

                西格馬生長爐系列產品有:單晶生長爐、晶體生長爐、單晶硅生長爐、藍寶石爐、藍寶石生長爐、碳化硅生長爐、多晶硅生長爐、半導體生長爐、硅單晶生長爐、石墨烯生長爐、vb生長爐、單晶體生長爐、cvd生長爐、野性生長爐石、藍寶石晶體生長爐。

                西格馬高溫晶體生長爐主要技術參數

                1、額定加熱溫度:?1800℃

                2、功率:??80Kw±10%單相整流

                3、冷態極限真空度: ≤5×10E-a

                4、.壓升率:?? ? ≤2Pa/h

                5、爐體尺寸:?? Ф750×1065mm(直徑×高)

                6、工作尺寸:?? Ф320×300

                7、測溫系統:?? ?熱電偶

                8、控溫精度:?? ?±0.1℃,采用日本島電溫控儀表

                9、加熱區:?? ? ?一區

                10、坩堝升降參數:?位移行程 400mm

                ?慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)精度±0.01mm

                ?快速升降50-200mm/min(伺服控制)

                11、底出料參數:?? ?位移行程 850mm

                ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?升降速度100-1000mm/min

                12、爐內充氣壓力:? ? ≤0.05MPa

                13、充放氣系統:??兩路(一路采用電磁閥充放氣,一路預留充放氣接口)

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