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                1200小型快速退火爐:碘鎢燈管加熱爐

                文章出處:洛陽西格馬高溫電爐 人氣:198 發表時間:2021-03-23

                RTP-1200度小型快速退火爐(RTP/RTA)為洛陽西格馬高溫電爐生產的快速退火爐。? 快速退火爐一般都是以碘鎢燈管為發熱元件,升溫速度極快,采用S型熱電偶測溫并采用國際的模糊PID控制,具有很高的控溫精度〈±5℃〉,快速退火爐 具有真空裝置,可在多種氣氛下工作。大大提高了其使用范圍。

                退火環境:真空、惰性氣體、空氣、其他工藝氣氛(如氧氣、氫氮混合氣等);真空泵及極限壓力:機械泵,10-3Torr水平(選配);

                小型快速退火爐采用紅外鹵素燈快速加熱。鹵素燈與碘鎢燈區別?碘鎢燈是鹵素燈的一種

                快速退火爐技術參數:

                電爐名稱 單位 型號
                RT4-180-9 RT4-220-9 RT4-300-9
                額定功率 KW 180 220 300
                額定電壓 V 380
                工作溫度 950
                爐膛
                尺寸
                mm 2100 2500 3000
                mm 1050 1300 1500
                mm 750 900 1200
                加熱元件接法 ? Y
                空爐升溫時間 h 2-3
                控溫精度 ±1
                大裝載量 Kg 5000 7000 11000
                重量 Kg 5600 8500 920

                小型快速退火爐特點:

                可在真空/不同氣氛/空氣不同環境下,對樣品進行快速熱處理;

                溫控精度高;

                無須配置冷水機;

                無須使用三相電,普通實驗室單相電即可使用;

                緊湊的臺式設計;

                儀器操作方便,樣片裝取容易;

                適合高?;蜓芯克蒲惺褂?;

                價格合理,高性價比;

                ?

                應用領域:

                快速熱退火 (Rapid Thermal Annealing,?RTA);

                快速熱氧化 (Rapid Thermal Oxidation,?RTO);

                快速熱氮化 (Rapid Thermal Nitridation,?RTN);

                擴散 (Diffusion);

                硅化 (Silicidation);

                化合物半導體退火 (Compound Semiconductor Annealing);

                離子注入后退火 (Implant Annealing);

                電極合金化 (Contact Alloying);

                晶體化和致密化 (Crystallization and Densification);

                合金熔點分析;

                薄膜沉積;

                等等…

                此文關鍵詞: 1200小型快速退火爐:碘鎢燈管加熱爐

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